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NAKANISHI高速主轴案例分享—轴的内径打磨用
返回列表 来源: 发布日期: 2020.09.27

众所周知,半导体生产工艺复杂,光是生产半导体的机器设备上的零部件都有成千上万个,小编今天就带来其中一个零件的生产工艺NAKANISHI高速主轴对轴的内径打磨。

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                                                  用于半导体生产机器的轴

                                                  材质: SUJ2 (轴承钢)

                                                 轴的孔内径:3.306±0.003

 

                     打磨工具要求:

                    高精度:精度要在6μm以内,如果主轴打磨时精度跳动很大,要保证在精度内的精密打磨需要时间。

             NAKANISHI高速主轴EMS-3060K刚好适合此类轴的打磨

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           NAKANISHI高速主轴EMS-3060K在保证表面打磨效果前提下,转速可从50,000 min1 提高到60,000 min1。精度1 ㎛内, 能实现精密加工,并可延长刀具使用寿命.

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